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Renishaw的真空係列產品基於既有的RG2直線光柵係統和RESR圓光柵係統。這些讀數頭由與UHV兼容的材料和粘合劑特製而成,提供低除氣率和清潔的RGA,另外還具有好點低和發熱小的特點。

RG2真空係列產品適用於各種應用場合,包括晶片處理、測試、科學儀器、光譜儀、真空檢測設備和其他更多的場合。

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